中微半导体（深圳）股份有限公司

独立董事关于第二届董事会第五次会议相关事项的独立意见

中微半导体（深圳）股份有限公司（以下简称“公司”）第二届董事会第五次会议于 2023年 6月 19日召开，根据《公司法》《证券法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《中微半导体（股份）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）《独立董事工作制度》等规定，我们作为公司的独立董事，对于公司第二届董事会第五次会议相关议案，发表独立意见如下：

(资料图片)

一、《关于调整 2023年限制性股票激励计划首次授予相关事项的议案》 公司本次调整符合《公司法》等法律、法规和规范性文件和《公司 2023年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称“《激励计划》”）及其摘要的相关规定，履行了必要的程序。本次调整后的激励对象不存在禁止获授限制性股票的情形，激励对象的主体资格合法、有效。本次调整的程序合法合规，不存在损害公司及股东利益的情形。

本次调整后，本激励计划首次授予人数由 156人调整为 150人，相应激励对象原获配股份数将调整到本激励计划首次授予的其他激励对象，首次授予价格调整为 24.55元/股。除上述调整内容外，本激励计划其他内容与公司2022年年度股东大会审议通过的内容一致。

综上，我们同意公司对本激励计划激励对象名单、授予人数及授予价格的调整。

二、《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》

（一）根据公司 2022年年度股东大会的授权，董事会确定公司本次激励计划的首次授予日为 2023年 6月 19日，该授予日符合《管理办法》等法律、法规和规范性文件及公司《激励计划》中关于授予日的相关规定。

（二）未发现公司存在《管理办法》等法律、法规和规范性文件规定的禁止实施股权激励计划的情形，公司具备实施股权激励计划的主体资格。

（三）公司确定首次授予限制性股票的激励对象，均符合《公司法》《证券法》等相关法律法规和《公司章程》、《激励计划》等的相关规定，主体资格合法、有效。

（四）公司实施股权激励计划有利于进一步建立、健全长效激励机制，吸引和留住优秀人才，充分调动公司员工的积极性，促进公司长远发展。

综上，我们认为公司本次激励计划的授予条件已经成就，同意公司确定以 2023年 6月 19日为首次授予日，并以 24.55元/股的价格向 150名激励对象授予 480万股限制性股票。

独立董事：华金秋、吴敬、宋晓科

2023年 6月 19日